ESC 전극은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하고 처리할 수 있도록 설계된 핵심 부품입니다. 뛰어난 절연성과 내구성을 바탕으로 플라즈마 환경에서도 안정적인 성능을 제공하며, 미세 패턴 공정의 생산성 향상과 품질 개선에 기여합니다. ICD 머트리얼즈는 첨단 소재와 독자적 가공기술을 적용하여 다양한 크기와 사양의 ESC 전극을 공급하고 있습니다.
미코세라믹스의 세라믹 정전척(ESC)은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 첨단 부품으로, 알루미나(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN) 등 고기능성 세라믹 소재를 적용하여 우수한 절연성과 내구성을 자랑합니다. 정밀한 온도 제어와 안정적인 웨이퍼 고정 성능을 제공해 반도체 미세공정의 생산성과 품질을 높이며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
Electrostatic Chuck(ESC)는 반도체 식각(Etch) 공정에서 웨이퍼를 정전기력으로 고정하는 핵심 부품입니다. 고온·고압 환경에서도 안정적인 웨이퍼 고정 및 정밀 가공이 가능하며, 내화학성과 내열성이 뛰어난 세라믹 소재를 적용해 공정 효율과 생산성을 극대화합니다. 미세화·다층화되는 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션입니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 정전척(ESC)은 웨이퍼를 정밀하게 고정하고, 열 제어 및 정전기 제어 기능을 통합한 핵심 부품입니다. (주)엘케이엔지니어링은 ESC 본체, ESC Plate, ESC 전극, ESC Heater 등 다양한 설계와 3D 가공, 초음파·열화상·TC wafer 검사 등 첨단 품질관리 기술을 적용하여, 고객 맞춤형 고성능 ESC를 제공합니다. 세라믹, AlN, SiC 등 다양한 소재와 미세 입자 패턴 가공, 특수 연마, 마이크로 평탄도 가공 등 차별화된 기술력을 보유하고 있습니다.
