젬백스앤카엘은 반도체 및 디스플레이 제조 현장뿐 아니라 일반 산업 현장에서도 사용 가능한 오염제어 필터 및 시스템을 제공합니다. 이 솔루션은 작업공간의 청정도 유지, 대기오염 방지, 생산설비의 효율적 운영을 지원하며, 국내 최초로 국산화에 성공해 국제 경쟁력을 갖추고 있습니다.
1Xnm급 반도체 공정에 대응하는 단일 웨이퍼 세정장비로, 콤팩트한 디자인과 다중 프로세스 노즐을 통해 뛰어난 처리량과 오염제어 성능을 제공합니다. 고급 소재와 친환경 기술을 적용해 SEMI 표준 및 CE 마크를 준수하며, 미세 오염까지 제거해 반도체 생산 효율성과 품질을 높입니다.
반도체 제조 공정에서 웨이퍼 보관용기(FOUP)의 오염을 제거하는 전용 세정장비입니다. 미세 오염까지 신속·정확하게 제거하여 반도체 생산라인의 품질 유지와 생산성 향상에 기여합니다. 국내외 주요 반도체 제조사에 공급되고 있으며, 고도의 오염제어 기술이 집약된 제품입니다.
반도체 제조 공정에서 사용되는 아이소프로필알코올(IPA)의 미세 오염물질을 ppt(10⁻¹²) 수준까지 제거하는 고성능 정제 시스템입니다. 초고순도 IPA를 안정적으로 공급하여 반도체 수율 향상과 공정 신뢰성 확보에 기여하며, 자동화된 모니터링과 내구성 높은 소재로 장기간 안정적인 운용이 가능합니다.
신한에어텍의 크린룸 시스템은 반도체, 바이오, 정밀전자 등 첨단 산업 현장에 필수적인 청정 환경을 구현합니다. 엄격한 입자 및 오염 제어, 온습도 유지, 자동제어설비와의 연동으로 생산 품질과 안전성을 극대화하며, 고객 맞춤형 설계와 시공, 유지보수까지 토탈 솔루션을 제공합니다.
삼화에이스의 크린룸 시스템은 반도체, 바이오, 제약 등 초정밀 환경이 요구되는 산업 현장에 특화된 솔루션입니다. 미세먼지, 온도, 습도, 오염물질을 엄격하게 제어하며, 고객 맞춤 설계와 시공, 유지관리까지 원스톱으로 제공합니다. 첨단 필터링과 자동제어 시스템을 통해 국제 기준에 부합하는 청정도를 실현합니다.
반도체 생산 공정 중 발생하는 부산물을 효율적으로 포집·제거하는 전문 장치로, 고효율 필터링 시스템과 내구성 높은 소재를 적용하여 생산 라인의 안정성과 청정도를 극대화합니다. 다양한 반도체 제조 환경에 맞춤형 솔루션을 제공하며, 유지관리와 설치가 용이해 국내외 주요 반도체 기업에서 채택되고 있습니다.
젬백스앤카엘의 CA 필터는 반도체 및 디스플레이 제조공정의 클린룸에서 발생하는 오염물질과 유해화학물질을 효과적으로 제거하는 첨단 필터 제품입니다. 자체 개발한 코팅 레진을 핵심 소재로 사용하여 기존 수입 제품을 대체, 국내외 반도체 산업 현장에 최적화된 성능과 내구성을 제공합니다. 클린룸의 천장, 외조기, 장비 등에 설치되어 생산수율 향상과 작업자 보호, 대기환경 개선에 기여하며, 삼성전자, SK하이닉스 등 주요 글로벌 기업에 공급되고 있습니다.
