(주)디바이스이엔지

OLED 증착 공정에 사용되는 FMM(Fine Metal Mask) 표면의 증착 소스 및 유기물을 고효율로 세정하는 장비입니다. 수백만 개의 미세 홀을 가진 FMM을 정밀하게 세정하여 OLED 패널의 품질과 생산성을 극대화하며, 2세대 장비는 IPA 사용량을 90% 절감해 친환경성과 안전성을 강화했습니다. 고품질·고효율 세정이 가능하며, 글로벌 OLED 패널 제조사에 공급되고 있습니다.

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1Xnm급 반도체 공정에 대응하는 단일 웨이퍼 세정장비로, 콤팩트한 디자인과 다중 프로세스 노즐을 통해 뛰어난 처리량과 오염제어 성능을 제공합니다. 고급 소재와 친환경 기술을 적용해 SEMI 표준 및 CE 마크를 준수하며, 미세 오염까지 제거해 반도체 생산 효율성과 품질을 높입니다.

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반도체 제조 공정에서 웨이퍼 보관용기(FOUP)의 오염을 제거하는 전용 세정장비입니다. 미세 오염까지 신속·정확하게 제거하여 반도체 생산라인의 품질 유지와 생산성 향상에 기여합니다. 국내외 주요 반도체 제조사에 공급되고 있으며, 고도의 오염제어 기술이 집약된 제품입니다.

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