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애싱시스템
제품/서비스 검색 결과 :
1
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설명
Etching & Ashing System
(주)에이씨에스
반도체식각장비
애싱시스템
플라즈마공정
웨이퍼가공
LED제조
Etching & Ashing System은 반도체·LED·SAW 필터 등 다양한 재료의 식각 및 제거 공정을 위한 장비입니다. 고밀도의 플라즈마를 활용해 Si-Oxide 식각과 PR 애싱 등 미세 가공이 가능하며, 컴팩트한 디자인과 우수한 처리량으로 생산라인 최적화를 지원합니다. PC 기반 자동제어와 클러스터 타입 구조로 높은 신뢰성과 효율성을 제공합니다.
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