하나머티리얼즈의 Silicon Electrode & Ring은 반도체 제조공정 중 Dry Etching(식각) 공정에 필수적으로 사용되는 핵심 소모성 부품입니다. 고순도의 단결정 실리콘을 기반으로 제작되어, 미세 패턴 구현과 플라스마 내구성이 뛰어나며 글로벌 주요 반도체 업체에 공급되고 있습니다. 세계 최초 600mm 대구경 실리콘 잉곳 개발 기술을 바탕으로 차세대 공정 대응 및 품질 혁신을 이끌고 있습니다.
실리콘 전극은 월덱스가 자체 개발한 고순도의 실리콘 소재를 기반으로 하여 제작되며 주로 식각 및 증착 등 첨단 반도체 제조 공정에 필수적으로 사용됩니다. 탁월한 전기적 특성과 긴 수명을 바탕으로 글로벌 칩 제조사의 까다로운 품질 기준을 충족하며 생산 라인의 효율과 신뢰성을 보장합니다.