MELCON THC Series는 반도체 및 디스플레이 생산라인의 포토리소그래피(Photolithography) 공정에 최적화된 초정밀 온·습도 환경을 구현하는 장치로, ±0.1℃의 정밀한 온도제어와 ±0.5%의 습도제어 성능을 자랑합니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 메이저 업체에 공급되며, 생산 수율 향상과 미세공정 안정성 확보를 위한 핵심 설비입니다.
3세대 반도체 습도제어 솔루션인 JDM은 반도체 클린룸 내 45% 습도를 웨이퍼 이송용 FOUP(Front Opening Unified Pod) 안팎에서 1% 이하로 낮출 수 있는 독자적 기술력을 갖춘 장비입니다. 이를 통해 습도로 인한 손실을 최소화하고, 반도체 수율 향상에 기여합니다. 기존 시스템 대비 에너지 효율성과 설치 용이성이 뛰어나며, 글로벌 종합반도체기업에도 납품되고 있습니다.
PWD Series 압축공기 제습장치는 산업 현장에서 발생하는 습기를 효과적으로 제거하여 장비의 효율성과 내구성을 극대화합니다. 고성능 흡착식 및 냉동식 기술을 적용해 안정적인 건조 공기를 공급하며, 반도체·정밀전자·의료 등 첨단 산업에 필수적인 청정 환경을 제공합니다. 에너지 절감 설계와 신속한 유지보수 지원으로 생산성 향상과 운영비 절감에 기여합니다.
씨케이솔루션의 전고체 배터리용 초저습 드라이룸은 DP(노점) -70ºC 이하의 극한 저습 환경을 구현하여, 2차전지 및 첨단 소재 제조 공정에 최적화된 습도 제어 솔루션을 제공합니다. 삼성SDI, LG에너지솔루션 등 국내외 주요 배터리 기업에 공급되며, 고효율 제습 로터와 독자적 공조 기술로 생산성 향상과 품질 안정성을 동시에 실현합니다. 초기 기획부터 설계·제조·시공·사후관리까지 토탈 엔지니어링 서비스를 제공하며, 글로벌 시장에서 검증된 신뢰성과 기술력을 자랑합니다.
네오콘은 습도 제어 기능을 갖춘 반도체 제조 장비로, 질소를 사용하지 않고도 안정적인 습도 환경을 구현하여 경제성과 친환경성을 동시에 실현합니다. 웨이퍼 공정의 품질 향상과 생산 효율성 증대에 기여하며, ESG 경영 트렌드에 부합하는 차세대 반도체 장비로 주목받고 있습니다.
