발전소 및 원자력 산업 현장에서 사용되는 SA-CTCS는 세정볼의 자동공급, 자동함수, 자동선별이 가능한 원클릭 전자동 시스템입니다. 국산화 혁신제품으로 성능인증을 획득했으며, 증기터빈 복수기의 냉각관 내부에 발생하는 스케일이나 이물질을 효과적으로 제거해 설비 효율성과 내구성을 극대화합니다. 빠른 함수와 우수한 내구성의 천연고무 함유 세정볼을 적용하여 유지관리 비용 절감과 안정적인 운전을 지원합니다.
케이씨텍의 Batch Wet Cleaning System은 300mm 실리콘 웨이퍼의 양면에서 발생하는 미세 오염물(파티클, 금속 불순물, 표면 흡착 화학물질 등)을 효과적으로 제거하는 첨단 침적식 세정장비입니다. 25~50매의 웨이퍼를 다수의 세정조에 침적하여 약액 처리 후 순수로 세척, Hot IPA로 건조하는 방식으로, 공정 라인에 맞춰 Front Type과 I Type으로 유연하게 대응할 수 있습니다. 뛰어난 파티클 제거 성능, 금속 오염 최소화, 높은 처리량(최대 460 WPH), 공정 자유도, 연속 처리로 오염 및 산화막 성장을 방지하는 등 반도체 제조 현장의 수율과 신뢰성을 극대화합니다.