미코세라믹스는 Al₂O₃, Y₂O₃, AlN, YAG 등 다양한 특수 세라믹 소재를 바탕으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 소모성 세라믹 부품을 공급합니다. 고객의 요구에 맞춘 맞춤형 설계와 고품질 생산으로, 반도체 장비의 내구성·정밀성·공정 효율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 장비업체와 칩 메이커에 안정적으로 공급되고 있습니다.
코미코의 세라믹 히터는 CVD, ALD 등 반도체 증착(Deposition) 공정 장비에 장착되어 웨이퍼에 열을 균일하게 가해주는 고기능성 부품입니다. 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 적용하여, 높은 내구성과 우수한 온도 균일성을 자랑합니다. 이를 통해 반도체 제조 공정의 생산 수율과 장비 효율성을 극대화하며, 미세화·고집적화되는 반도체 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
미코의 세라믹 히터는 증착(CVD) 및 식각(Etch) 공정에 최적화된 고성능 부품으로, 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 온도 균일성과 내구성을 제공합니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비에 적용되어 공정 효율과 수율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
미코세라믹스의 세라믹 정전척(ESC)은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 첨단 부품으로, 알루미나(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN) 등 고기능성 세라믹 소재를 적용하여 우수한 절연성과 내구성을 자랑합니다. 정밀한 온도 제어와 안정적인 웨이퍼 고정 성능을 제공해 반도체 미세공정의 생산성과 품질을 높이며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
최첨단 질화알루미늄 소재와 독자적 소결·정밀 가공 기술이 적용된 보부하이테크의 세라믹 히터는 반도체 전공정 및 후공정 장비에 최적화된 내구성과 열 효율성을 제공합니다. 까다로운 공정 환경에서도 안정적인 온도 제어와 긴 수명을 자랑하며, 글로벌 반도체 기업들이 신뢰하는 고성능 핵심 부품입니다.
산업용 정밀 토출 장비에 적용되는 세라믹 노즐은 내마모성과 내식성이 뛰어나며, 고온·고압 환경에서도 안정적인 성능을 제공합니다. 초정밀 가공 기술을 바탕으로 균일한 분사와 긴 수명을 실현하여 반도체, 디스펜싱, 잉크젯 등 다양한 산업 현장에서 핵심 부품으로 사용되고 있습니다.
반도체 및 디스플레이 산업의 핵심 공정에 사용되는 세라믹 정전척은 기판을 정전기력으로 고정·흡착시켜 정밀한 가공과 고효율 생산을 실현합니다. 이지스코의 세라믹 정전척은 사파이어, 글라스 등 다양한 부도체 기판에 적용 가능하며, 높은 내전압성과 우수한 정전력으로 대면적 OLED, LCD, LED 공정에서 기판 처짐 방지 및 칩 수율 향상에 기여합니다. 4인치, 6인치 등 다양한 규격으로 제공되며, 국내 최고 수준의 기술력과 특허를 보유하고 있습니다.
