미코의 세라믹 히터는 증착(CVD) 및 식각(Etch) 공정에 최적화된 고성능 부품으로, 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 온도 균일성과 내구성을 제공합니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비에 적용되어 공정 효율과 수율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
미코세라믹스는 Al₂O₃, Y₂O₃, AlN, YAG 등 다양한 특수 세라믹 소재를 바탕으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 소모성 세라믹 부품을 공급합니다. 고객의 요구에 맞춘 맞춤형 설계와 고품질 생산으로, 반도체 장비의 내구성·정밀성·공정 효율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 장비업체와 칩 메이커에 안정적으로 공급되고 있습니다.
코미코의 세라믹 히터는 CVD, ALD 등 반도체 증착(Deposition) 공정 장비에 장착되어 웨이퍼에 열을 균일하게 가해주는 고기능성 부품입니다. 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 적용하여, 높은 내구성과 우수한 온도 균일성을 자랑합니다. 이를 통해 반도체 제조 공정의 생산 수율과 장비 효율성을 극대화하며, 미세화·고집적화되는 반도체 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다.