최첨단 분쇄 기술을 바탕으로 생산되는 (주)그린환경의 비금속광물 분쇄물은 건설, 산업용 소재 등 다양한 분야에 적용되며, 균일한 입도와 우수한 품질로 고객 만족도를 높입니다. 친환경 공정과 철저한 품질관리를 통해 지속가능한 자원 활용을 실현하며, 국내외 시장에서 신뢰받는 제품입니다.
미코의 세라믹 히터는 증착(CVD) 및 식각(Etch) 공정에 최적화된 고성능 부품으로, 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 온도 균일성과 내구성을 제공합니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비에 적용되어 공정 효율과 수율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
미코세라믹스는 Al₂O₃, Y₂O₃, AlN, YAG 등 다양한 특수 세라믹 소재를 바탕으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 소모성 세라믹 부품을 공급합니다. 고객의 요구에 맞춘 맞춤형 설계와 고품질 생산으로, 반도체 장비의 내구성·정밀성·공정 효율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 장비업체와 칩 메이커에 안정적으로 공급되고 있습니다.
코미코의 세라믹 히터는 CVD, ALD 등 반도체 증착(Deposition) 공정 장비에 장착되어 웨이퍼에 열을 균일하게 가해주는 고기능성 부품입니다. 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 적용하여, 높은 내구성과 우수한 온도 균일성을 자랑합니다. 이를 통해 반도체 제조 공정의 생산 수율과 장비 효율성을 극대화하며, 미세화·고집적화되는 반도체 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
미코세라믹스의 세라믹 정전척(ESC)은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 첨단 부품으로, 알루미나(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN) 등 고기능성 세라믹 소재를 적용하여 우수한 절연성과 내구성을 자랑합니다. 정밀한 온도 제어와 안정적인 웨이퍼 고정 성능을 제공해 반도체 미세공정의 생산성과 품질을 높이며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
AlN(질화알루미늄) 세라믹 히터는 반도체 공정에서 웨이퍼를 직접 핸들링하는 핵심 부품으로, 고순도·고내열성 소재를 사용하여 뛰어난 열전도성과 내구성을 자랑합니다. 정밀 온도 제어가 가능해 반도체의 품질과 생산성을 극대화하며, 모든 제조 공정은 첨단 설비를 통해 100% 사내에서 이루어집니다. 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업의 까다로운 요구를 만족시키는 최고 수준의 신뢰성을 제공합니다.
