CVD(화학기상증착) 및 식각 공정에 사용되는 서셉터는 반도체 및 디스플레이 제조 장비의 온도 제어와 균일한 열 분포를 실현하는 핵심 부품입니다. 포인트엔지니어링의 서셉터는 고순도 알루미늄 소재와 특수 표면처리 기술로 내열성, 내식성, 파티클 방지 성능이 뛰어나며, 국내외 주요 반도체·디스플레이 제조사에 공급되고 있습니다.
초박형 알루미늄 서셉터는 균일한 온도분포와 고속 온도 제어가 가능한 첨단 부품으로, 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 핵심적인 역할을 합니다. 고진공·고온 환경에서도 뛰어난 내구성과 정밀도를 자랑하며, 탄소나노튜브 히터와 결합하여 에너지 효율과 공정 신뢰성을 높입니다. 관련 등록특허 12건을 보유하고 있습니다.
