APCT가 개발한 고순도 유기용제는 반도체 및 디스플레이 제조공정에서 불순물 제거와 세정 효율을 극대화합니다. 초고순도의 품질관리 시스템 아래 생산되어 미세 오염 방지, 장비 수명 연장, 생산수율 향상에 기여하며, 다양한 라인업으로 고객별 공정 특성에 맞춘 선택이 가능합니다.
디스플레이 및 PCB 제조공정에서 AOI 장비로 검출된 결함 부위를 레이저와 메탈 잉크젯팅 기술로 정밀하게 수리해 양품화시키는 첨단 설비입니다. Sub-micron 단위의 선택적 커팅과 금속 배선 복원 기능으로 생산수율 향상에 기여하며 Auto Repair 기능과 Metal Ink Module 등 최신 기술이 집약되어 있습니다. AMOLED·LCD·PCB 등 다양한 소재와 공정에 대응할 수 있는 유연성과 높은 신뢰성이 강점입니다.
젬백스앤카엘의 CA 필터는 반도체 및 디스플레이 제조공정의 클린룸에서 발생하는 오염물질과 유해화학물질을 효과적으로 제거하는 첨단 필터 제품입니다. 자체 개발한 코팅 레진을 핵심 소재로 사용하여 기존 수입 제품을 대체, 국내외 반도체 산업 현장에 최적화된 성능과 내구성을 제공합니다. 클린룸의 천장, 외조기, 장비 등에 설치되어 생산수율 향상과 작업자 보호, 대기환경 개선에 기여하며, 삼성전자, SK하이닉스 등 주요 글로벌 기업에 공급되고 있습니다.
USM Chiller는 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 챔버와 웨이퍼 주변 온도를 정밀하게 제어하는 고성능 냉각장치입니다. 풋프린트 감소, 근접 설치, 극저온 대응, 친환경 냉매 적용 등 다양한 기술이 집약되어 있으며, 에너지 효율성과 신속한 응답속도를 자랑합니다. 고객사의 생산 수율 향상과 에너지 절감에 기여하는 최첨단 냉동·냉각 솔루션입니다.
코미코의 반도체 부품 정밀세정 서비스는 반도체 제조 장비의 핵심 부품에서 발생하는 오염물과 파티클을 효과적으로 제거하여, 부품의 원상 회복과 수명 연장을 실현합니다. 고도화된 세정 공정과 품질보증 시스템을 통해 미세오염(Micro Contamination)을 제어하며, 장비의 가동률 및 생산 수율을 극대화하고 고객사의 원가 경쟁력 향상에 기여합니다.
FPD Laser Repair System은 LCD, OLED, QD-OLED, 마이크로 LED 등 다양한 디스플레이 패널 제조 공정에서 발생하는 미세 결함을 레이저로 정밀하게 수리하여 생산 수율을 극대화하는 첨단 장비입니다. 배선 단선, 이물질 부착 등으로 인한 불량 화소를 레이저 커팅 및 접합 기술로 신속하게 복구하며, 고해상도·대면적 패널 생산에 최적화된 자동화 솔루션을 제공합니다. 세계 시장 점유율 1위의 독보적 기술력으로 국내외 주요 디스플레이 제조사에 공급되고 있습니다.
OL-900n은 2020년 출시된 5세대 오버레이 계측 장비로, 반도체 전공정에서 하부·상부 패턴의 정렬 상태를 고정밀로 측정합니다. 300mm 웨이퍼 대응, 높은 반복재현성과 정확성, 신속한 고객 대응 서비스로 국내외 주요 반도체 제조사에 공급되고 있습니다. 미세화 공정 대응에 최적화된 장비입니다.
