삼불화질소(NF₃)는 반도체, 디스플레이, 태양광, LED 제조 공정의 CVD(화학기상증착) 챔버 세정에 필수적으로 사용되는 고순도 특수가스입니다. 에프알디는 4N(99.99% 이상) 이상의 고순도 NF₃를 생산하며, 첨단 분석 설비와 엄격한 품질관리 체계를 통해 글로벌 반도체 및 디스플레이 제조사의 까다로운 품질 요구를 충족합니다. NF₃는 높은 세정 효율과 환경 친화적 특성으로 차세대 반도체 공정에서 각광받고 있습니다.
SK스페셜티는 국내 최초로 삼불화질소(NF₃) 생산을 성공시킨 이래, 세계 1위의 생산능력과 품질을 자랑합니다. NF₃는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 챔버 세정용으로 사용되며, 고순도·고안정성·친환경 공정 특성을 바탕으로 글로벌 시장에서 독보적인 경쟁력을 확보하고 있습니다. 첨단 IoT, 빅데이터, 자율주행차 등 미래 산업의 핵심 소재로 각광받고 있습니다.
NF₃는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 플라즈마 식각 및 CVD(화학기상증착) 장비의 챔버 세정용으로 사용되는 고순도 특수가스입니다. SK머티리얼즈는 국내 최초로 NF₃ 국산화에 성공했으며, 세계 시장 점유율 1위를 기록하고 있습니다. NF₃는 뛰어난 세정 효율과 낮은 환경 영향으로 첨단 반도체·디스플레이 제조에 필수적인 소재입니다.
