CENTER MASTER®는 정밀 부품 조립 및 압입 공정에서 발생하는 중심오차를 자동으로 보정하는 첨단 장비로, 다양한 자동 중심 보정 기술이 적용되어 조립 불량을 원천적으로 차단하고 생산성 향상 및 원가 절감에 크게 기여합니다. 자동차, 전자, 배터리 등 다양한 산업 현장에서 정밀 조립의 품질을 극대화할 수 있는 솔루션을 제공합니다.
이 모듈은 EFEM(Equipment Front End Module)에 부착되어 불활성 가스를 활용해 무색무취의 레지드 가스를 정밀하게 제거함으로써 웨이퍼 표면 결점 발생을 최소화합니다. PIV 유동 촬영기법 등 첨단 해석 기술을 적용해 환경 흐름을 최적화했으며, 최대 50개까지 웨이퍼 보관 및 개별 제어가 가능하도록 설계되었습니다. 세계 최초로 개발된 이 시스템은 경쟁사 대비 독보적인 성능과 효율성을 인정받고 있습니다.
MZCT는 복잡한 회로를 다구간에서 동시에 테스트할 수 있는 멀티존 회로 테스터기로서, 대량 생산 환경에서 효율적인 검사가 가능합니다. 정밀 측정 기능과 빠른 처리 속도를 갖추고 있어 전자부품 및 자동차 부품 제조공정의 신뢰성을 높이며 불량률 감소와 작업 효율 극대화에 최적화된 솔루션입니다.
JFS는 세계 최초의 기류 제어 기반 EFEM(Equipment Front End Module) 부착형 습도저감 모듈로서 추가 유틸리티 없이 간편하게 설치할 수 있습니다. FOUP 내부습도를 1% 이하까지 제어해 미세공정 환경에서 발생할 수 있는 이물성 및 Defect를 차단하여 생산수율과 품질 안정성을 극대화합니다.
