AMHS는 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 FOUP 및 Cassette 등 다양한 운반 용기를 자동으로 이송·관리하는 통합 물류 시스템입니다. 실시간 모니터링과 최적 경로 제어 기술이 적용되어 생산 효율 극대화와 불량률 감소를 동시에 달성하며, 글로벌 스탠다드에 부합하는 안정성과 확장성을 자랑합니다.
Albatross™는 플라즈마 기반 화학기상증착(PECVD) 장비로서 다양한 절연막 및 보호층 증착에 특화되어 있습니다. 고밀도의 플라즈마 제어 기술을 통해 우수한 막질과 두께 균일성을 제공하며, 로직·메모리 등 다양한 반도체 소자 생산라인에서 활용됩니다. 경쟁사 대비 뛰어난 내구성과 유지보수 편의성이 강점입니다.
금속 및 산화물 박막 형성용 PVD(Physical Vapor Deposition) 시스템으로서 반도체·디스플레이·전자부품 제조 라인에서 고품질 코팅과 균일한 두께 제어가 가능합니다. 초고속 진공증착 특허 기술 적용으로 기존 Plating 대비 효율성과 친환경성을 동시에 실현합니다.
BOX OVEN은 최대 600℃까지 운전 가능한 고온 가열 장치로 AIR, N₂(질소), H₂(수소) 등 다양한 분위기에서 정밀한 온도 제어를 제공합니다. 전기식 SHEATH HEATER 방식과 첨단 안전장치를 적용해 반도체·전자부품·금속재료 등 폭넓은 산업 분야에서 균일하고 신뢰성 높은 열처리 솔루션을 제공합니다.
고효율 결정질 실리콘 태양전지 제조에 최적화된 ALD(원자층 증착) 장비로, 3200 wafer/hr 이상의 생산성을 자랑합니다. 대면적 적용과 높은 양산성을 갖추어 국내외 태양전지 셀 제조사에 공급되고 있으며, 정밀한 박막 형성 및 균일한 코팅 품질을 제공합니다. 첨단 반도체 및 에너지 산업에서 요구하는 신뢰성과 효율을 동시에 만족시키는 차세대 증착 솔루션입니다.
RF Generator는 플라즈마 발생에 필요한 고주파 전력을 안정적으로 공급하는 전원장치입니다. 정밀한 출력 제어와 높은 에너지 효율을 바탕으로 Etch 및 CVD 등 첨단 박막 제조 공정을 지원하며, Matching Network와 연동하여 최적의 임피던스 매칭과 전력 전달 효율을 실현합니다. 삼성전자 등 글로벌 고객사에 채택되어 품질과 기술력을 인정받고 있습니다.
산업용 클린룸 시스템은 반도체·디스플레이·바이오 등 미세먼지와 오염물질 관리가 필수적인 첨단 제조 현장에 특화된 청정 환경 구축 솔루션입니다. 국제 표준(HACCP & GMP) 기반의 맞춤형 설계와 시공으로 고객 요구 수준 이상의 청정도를 달성하며, 에너지 절감 및 친환경 요소를 접목해 운영 효율성을 극대화합니다. 풍부한 시공 경험과 무재해 실적을 바탕으로 국내외 다양한 플랜트 프로젝트를 성공적으로 수행하고 있습니다.
Laser Solution은 반도체 웨이퍼와 디스플레이 패널의 미세 공정에 특화된 레이저 기반 장비로서 DRAM/NAND FLASH 수율 개선 및 SiC 전력반도체 옴 접촉 저항 감소 등 첨단 제조공정 혁신을 지원합니다. 고출력 레이저 제어와 정밀 가공기술로 생산성 향상과 공정 안정성을 동시에 제공합니다.
