삼원폴리텍(주)은 첨단 FPD(Flat Panel Display) 및 반도체 제조 공정에 필수적인 고정밀 장비를 자체 기술력으로 개발·제조합니다. 고객 맞춤형 설계와 엄격한 품질관리, 다양한 산업 현장 적용 경험을 바탕으로 생산 효율성과 공정 안정성을 극대화하는 솔루션을 제공합니다. 최신 트렌드에 부합하는 자동화 시스템과 정밀 제어기술이 집약되어 있으며, 국내외 유수 반도체·디스플레이 기업에 공급되고 있습니다.
반도체 제조라인 등 첨단 산업설비에 사용되는 금속 벨로우즈를 전문적으로 가공·생산합니다. 벨로우즈는 진동 흡수 및 길이 조절 기능을 갖춘 주름관 형태의 부품으로, 설비의 내구성과 효율성을 극대화합니다. 경동정밀공업은 설비 구조와 특성에 맞춘 맞춤형 벨로우즈를 제공하며, 자체 품질검사 시스템을 통해 불량률을 최소화하고 신속한 납기를 실현합니다.
원익아이피에스의 ALD 장비는 원자 단위의 박막을 균일하게 증착하는 첨단 반도체 제조 공정 장비로, 3D NAND Flash, 하이-K를 적용한 10나노급 DRAM 등 차세대 반도체 양산에 필수적입니다. 세계 최초로 양산용 200mm ALD 장비를 개발한 기술력을 바탕으로, 정밀한 두께 제어와 우수한 박막 균일성을 제공하여 반도체 미세화 및 고집적화에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
원익아이피에스의 CVD 장비는 반도체 웨이퍼 표면에 고품질의 박막을 형성하는 핵심 장비로, 메모리 및 비메모리 반도체, 디스플레이 제조 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 고온·저온 공정 모두에 적용 가능하며, 대면적 웨이퍼의 균일한 박막 형성과 생산성 향상에 강점을 보유하고 있습니다. 국내 최초로 양산용 Metal ALD/CVD 200/300mm 장비를 개발한 경험을 바탕으로, 글로벌 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
원익아이피에스의 Dry Etching System은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 미세 패턴을 정밀하게 구현하는 고성능 식각 장비입니다. 고유 안테나 기반의 설계로 우수한 식각률과 균일성을 제공하며, LCD, AMOLED, Oxide TFT 등 다양한 애플리케이션에 적용 가능합니다. 최신 공정의 미세화와 고집적화 요구에 대응하여, 생산 효율성과 품질을 동시에 만족시키는 솔루션을 제공합니다.
UniScrubber는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 발생하는 각종 유해가스를 효과적으로 정화하는 첨단 가스 스크러버 장비입니다. 독자적인 국산화 기술로 개발되어, 고효율 유해가스 제거와 에너지 절감, 친환경 설계가 특징입니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내외 주요 반도체 기업에 공급되며, 고객 맞춤형 설계와 신속한 유지보수 서비스로 높은 신뢰를 받고 있습니다.
써머일렉트릭 칠러는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 장비의 온도와 습도를 정밀하게 제어하는 냉각장치입니다. FST의 칠러는 고효율 열교환 시스템과 정밀 제어 기술을 적용하여, 생산 장비의 안정적인 운용과 불량률 감소에 기여합니다. 다양한 공정 조건에 맞춘 맞춤형 설계와 신속한 유지보수 지원으로 글로벌 반도체 제조사의 신뢰를 받고 있습니다.
SMC 칠러는 -20°C에서 +100°C 이상까지 온도를 정밀하게 제어할 수 있는 산업용 냉각장치로, 반도체·디스플레이·정밀가공 등 고도의 온도 관리가 필요한 공정에 최적화되어 있습니다. 친환경 냉매(GWP 750 이하)와 대체 쿨런트 적용으로 환경 규제에 대응하며, 글로벌 반도체 제조사 및 국내 대기업에서 신뢰받는 고성능 솔루션입니다.
