반도체 및 디스플레이 공정의 Plasma Chamber에 사용되는 진공설비 부품은 아노다이징, 세정, 용사코팅 등 표면처리 기술을 적용해 파티클 감소, 내식성·내열성 강화, 제품 수명 연장 및 생산성 향상을 실현합니다. 와이엠씨(주)는 신규 제작과 재생 서비스를 모두 제공하며, 고객 맞춤형 코팅 두께와 대형 패널 대응력을 갖추고 있습니다.
CCSS 유지보수 서비스는 반도체 및 디스플레이 생산라인의 핵심인 중앙 화학공급 시스템의 안정적 운영을 위한 예방점검, 약품 교체, 장비 점검, 데이터 분석, 이상 발생 시 신속한 조치 및 트러블슈팅을 포함합니다. 에이치씨엠(주)은 업계 최고 수준의 전문성과 신속한 대응력으로 고객의 생산설비 가동률을 극대화하며, 안전하고 효율적인 생산 환경을 보장합니다.
PLC(Programmable Logic Controller) 기반 설비 제어 시스템은 반도체 및 디스플레이 제조 현장의 자동화와 효율적 운영을 지원합니다. 에이치씨엠(주)은 PLC 프로그래밍, 설계, 품질관리, 제어전기공사 등 전 과정을 아우르며, 고객 맞춤형 자동화 솔루션을 제공합니다. 높은 신뢰성과 유연성을 바탕으로 생산라인의 최적화와 생산성 향상에 기여합니다.
Protron은 반도체 제조 공정에서 발생하는 유해 폐가스를 친환경적으로 정화하여 대기로 안전하게 배출하는 차세대 비연료(Non-fuel) 가스저감장치입니다. 화석연료를 사용하지 않으면서도 CVD, Diffusion, Etch 등 다양한 반도체 공정에 적용 가능하며, 우수한 가연성 처리능력과 높은 효율성을 자랑합니다. 탄소 저감 및 ESG 목표 달성을 위한 최적의 솔루션으로 인정받고 있습니다.
ULVAC 진공펌프는 반도체, 디스플레이, 2차전지 등 첨단 산업의 제조공정에서 필수적인 진공 환경을 구현하는 핵심 장비입니다. 고효율, 저진동, 저소음 설계로 생산라인의 안정성과 신뢰성을 높이며, 다양한 용량과 사양으로 고객의 공정 요구에 최적화된 솔루션을 제공합니다. 24시간 기술지원과 신속한 유지보수 서비스로 고객 만족도를 극대화하고 있습니다.
EDM은 신성이엔지가 자체 개발한 첨단 클린룸 핵심 장비로, 파티클 필터링과 제습 기능을 하나로 통합한 초소형 모듈입니다. 영하 60℃DP까지 노점 온도를 정밀하게 제어할 수 있어 이차전지·반도체·디스플레이 등 습도와 청정도가 중요한 제조 환경에 최적화되어 있습니다. 일체형 제어부로 설치가 간편하며, 에너지 절감형 설계와 양압 유지 기능을 갖추고 있어 운전비용이 낮고, 초저습 환경 구현이 가능합니다.
어프로티움의 고순도 산업용 수소는 SMR(천연가스 추출) 및 부생수소 정제 공정을 통해 연간 약 10만 톤 이상 생산되며, 정유·석유화학·반도체 등 다양한 산업 분야에 공급됩니다. 전국 최대 규모의 튜브트레일러와 70km 이상의 배관망을 통해 신속하고 안정적으로 제공되며, CO₂ 포집 기술과 연계해 친환경적이고 지속가능한 에너지 공급을 실현합니다.
