Gas Cabinet은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필요한 초고순도 가스를 안전하고 정밀하게 공급하는 핵심 장비입니다. 케이씨텍의 Gas Cabinet은 고도의 정밀 제어 시스템과 안전장치를 탑재하여, 생산라인의 안정성과 효율성을 극대화합니다. 다양한 가스 종류와 공정 조건에 맞춘 맞춤형 설계가 가능하며, 반도체 공정의 품질과 생산성을 높이는 데 필수적인 솔루션입니다.
단일가스켐(주)의 고순도 아산화질소는 반도체 제조, 의료 마취 등 다양한 분야에서 사용되며, 자체 정제기술로 99.999% 이상의 순도를 구현해 국내외 시장에 안정적으로 공급됩니다. 불순물 관리와 품질 인증(GMP)을 통해 안전성과 신뢰성을 확보하여 고객의 까다로운 요구를 만족시킵니다.
반도체 및 디스플레이 제조 공정의 드라이 에칭(Dry Etching)에 필수적으로 사용되는 고순도(5N, 99.999%) 특수가스입니다. 티이엠씨의 C4F8은 자동화된 인라인 분석 시스템과 고안전 제어 시스템을 통해 생산되며, 간편한 정제 및 충전 공정을 갖추고 있어 고객사의 생산 효율성과 품질 향상에 기여합니다.
