박막증착기술  제품/서비스 검색 결과 : 3건

반도체와 디스플레이 제조 공정에서 필수적인 스퍼터링 타겟 및 증발원을 자체 개발·생산하여 공급합니다. 알루미늄 질화물(AIN), 알루미나(AI₂O₃), 탄소계 등 다양한 재질로 제작 가능하며 높은 순도의 균일한 박막 형성 능력과 안정적인 성능을 보장해 차세대 소자 제조에 적합합니다.

PLEX CVD System은 박막 증착 공정의 핵심인 화학기상증착(CVD) 기술을 적용하여 균일하고 고품질의 박막 형성이 가능합니다. 대면적 웨이퍼 처리와 다양한 소재 증착 지원으로 차세대 메모리 및 로직 소자 생산라인에서 높은 호환성과 생산성을 제공합니다.

ATOMIC PREMIUM은 반도체 공정에 필수적인 원자층박막증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 장비로, 박막 두께를 원자 단위로 정밀하게 제어할 수 있습니다. 써멀 및 플라즈마 강화(PE) 방식 모두 지원하며, 균일하고 순도 높은 박막을 저온에서 증착해 메모리칩·트랜지스터 등 첨단 소자의 성능 향상에 기여합니다. 고객 맞춤형 설계와 신속한 엔지니어링 서비스가 강점이며, OLED 디스플레이·이차전지 소재 코팅 등 다양한 첨단 산업에도 적용되고 있습니다.