PRO-RPS는 자기유도결합(ICP) 방식의 첨단 플라즈마 발생 기술을 적용하여, 반도체 제조 공정에서 가스 분자에 고효율 에너지를 전달해 고에너지 활성종을 생성·공급합니다. 박막증착, 원자층 증착/식각, 표면처리 등 다양한 공정에서 균일하고 손상 없는 웨이퍼 처리를 실현하며, 원거리 공급으로 이온 손상을 최소화해 생산성과 품질 모두를 극대화합니다.
원익아이피에스의 ALD 장비는 원자 단위의 박막을 균일하게 증착하는 첨단 반도체 제조 공정 장비로, 3D NAND Flash, 하이-K를 적용한 10나노급 DRAM 등 차세대 반도체 양산에 필수적입니다. 세계 최초로 양산용 200mm ALD 장비를 개발한 기술력을 바탕으로, 정밀한 두께 제어와 우수한 박막 균일성을 제공하여 반도체 미세화 및 고집적화에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
원익아이피에스의 CVD 장비는 반도체 웨이퍼 표면에 고품질의 박막을 형성하는 핵심 장비로, 메모리 및 비메모리 반도체, 디스플레이 제조 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 고온·저온 공정 모두에 적용 가능하며, 대면적 웨이퍼의 균일한 박막 형성과 생산성 향상에 강점을 보유하고 있습니다. 국내 최초로 양산용 Metal ALD/CVD 200/300mm 장비를 개발한 경험을 바탕으로, 글로벌 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
ENTRON-EX2는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 박막 증착(스퍼터링) 장비로, 고진공 환경에서 다양한 금속 및 산화물 박막을 균일하게 증착할 수 있습니다. 대면적 기판 대응, 고생산성, 공정 안정성, 자동화 시스템 등 첨단 기술이 적용되어 있으며, 메모리 반도체, OLED, TFT-LCD 등 첨단 산업 분야에서 폭넓게 활용됩니다. ULVAC의 독자적 진공기술과 정밀 제어 시스템을 통해 고품질 박막 형성이 가능하며, 고객 맞춤형 옵션 제공으로 생산 효율성과 품질 경쟁력을 극대화합니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 종형확산로(Diffusion Furnace)는 웨이퍼에 균일한 도핑 및 산화막 형성을 실현하는 고성능 장비입니다. 온도 제어, 진공 및 가스 치환 기술을 적용하여 뛰어난 품질의 박막 증착과 높은 생산성을 동시에 제공합니다. 글로벌 반도체 기업들의 까다로운 요구를 충족시키며, 신뢰성과 내구성이 입증된 국제엘렉트릭코리아의 대표 제품입니다.
BlueJay™는 반도체 미세공정에 최적화된 싱글 타입 저압 화학기상증착(LPCVD) 장비로, 웨이퍼 표면에 균일하고 고품질의 절연막 및 박막을 형성합니다. 세계 유수 반도체 소자업체에서 핵심 공정장비로 채택되고 있으며, DRAM 등 첨단 메모리 제조 라인에서 높은 신뢰성과 생산성을 인정받고 있습니다. 독보적인 미세막질 제어 기술과 에너지 효율성을 바탕으로 차세대 반도체 공정 혁신을 주도합니다.
CREJU 시리즈는 스마트폰 및 TV용 플렉시블 OLED 패널 제조에 최적화된 클러스터형 스퍼터링 장비로, 고효율 박막 증착 공정과 균일한 박막 형성을 실현합니다. 첨단 진공 및 증착 기술을 적용해 대면적 OLED 생산라인에 안정적으로 공급되며, 생산성 향상과 품질 확보를 동시에 만족시키는 글로벌 시장 점유율 1위 제품입니다.
태양광 셀 제조 공정에 최적화된 전자빔 증착기(E-Beam Evaporator)로, Perovskite, OPV(유기태양전지), DSSC(염료감응형태양전지), Organic Solar Cell 등 다양한 차세대 태양전지 소재의 박막 형성에 특화되어 있습니다. 고효율·고정밀 증착 기술과 내구성을 바탕으로 연구기관 및 생산현장에서 안정적인 성능을 제공합니다.
그린리소스는 란탄(Lanthanum), 세륨(Cerium) 등 다양한 희토류 금속과 산화물 분말을 전자재료와 산업용 소재 시장에 공급합니다. 열전도분말, 연마제, 박막증착재료 등으로 활용되며 고순도의 나노분말까지 제공하여 첨단 전자·반도체 공정의 효율성과 정밀도를 극대화합니다.
