S-4800 FE-SEM은 나노미터 단위의 고해상도 이미징이 가능한 전계방출형 주사전자현미경으로 소재 분석·반도체·생명과학 등 다양한 분야에서 미세구조 관찰 및 정밀 분석에 활용됩니다. 자동화 기능과 신뢰성 높은 데이터 제공으로 연구개발 및 품질관리에 필수적인 장비입니다.
여러 장의 웨이퍼를 동시에 가공할 수 있는 수직 구조의 퍼니스 장비로서 확산(Diffusion), 저압 화학기상증착(LPCVD), 원자층증착(ALD) 등 다양한 반도체 공정에 대응합니다. 뛰어난 온도 제어와 독창적인 챔버 설계로 미세구조 및 고집적 회로 생산에 최적화되어 있습니다.
CX-200plus는 최대 15만 배의 고배율과 고해상도를 제공하는 테이블탑 주사전자현미경으로, 생명과학·재료과학 등 다양한 분야에서 미세구조 분석에 최적화된 장비입니다. 컴팩트한 디자인으로 공간 활용도가 높고, 빠른 시료 관찰 및 이미지 획득이 가능하여 연구실 및 산업 현장에서 효율적인 품질 관리와 신속한 분석을 지원합니다.
Imaging Spectroscopic Ellipsometer는 박막의 두께, 굴절률 등 다양한 광학 특성을 고정밀로 측정할 수 있는 첨단 계측장비입니다. 엘립소메트리와 현미경 기술을 결합해 반도체, 디스플레이, 소재 연구 등에서 미세구조 분석과 품질 평가에 활용됩니다. 다양한 샘플 크기와 형태에 대응하며, 신뢰성 높은 데이터 제공으로 연구 및 생산 현장의 혁신을 지원합니다.
SNE-4500M Plus는 소형·탁상형 주사전자현미경(SEM)으로, 다양한 소재의 표면 구조와 미세 결함을 고해상도로 관찰·분석할 수 있는 장비입니다. 간편한 조작과 빠른 분석 속도를 제공하며, 반도체 패키지, 소재 연구, 전자부품 등 다양한 분야에서 시료의 미세 구조 분석 및 품질 평가에 활용됩니다. 연구개발 및 생산 현장에서 신속하고 정확한 분석을 지원합니다.
