레지드가스제거  제품/서비스 검색 결과 : 1건

이 모듈은 EFEM(Equipment Front End Module)에 부착되어 불활성 가스를 활용해 무색무취의 레지드 가스를 정밀하게 제거함으로써 웨이퍼 표면 결점 발생을 최소화합니다. PIV 유동 촬영기법 등 첨단 해석 기술을 적용해 환경 흐름을 최적화했으며, 최대 50개까지 웨이퍼 보관 및 개별 제어가 가능하도록 설계되었습니다. 세계 최초로 개발된 이 시스템은 경쟁사 대비 독보적인 성능과 효율성을 인정받고 있습니다.