ESC 전극은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하고 처리할 수 있도록 설계된 핵심 부품입니다. 뛰어난 절연성과 내구성을 바탕으로 플라즈마 환경에서도 안정적인 성능을 제공하며, 미세 패턴 공정의 생산성 향상과 품질 개선에 기여합니다. ICD 머트리얼즈는 첨단 소재와 독자적 가공기술을 적용하여 다양한 크기와 사양의 ESC 전극을 공급하고 있습니다.
정밀한 자동화 공정으로 LCD 패널에 편광판을 고속·고정밀로 부착하는 산업용 장비입니다. 스마트폰, TV, 노트북 등 다양한 디스플레이 제조 라인에서 핵심적으로 사용되며, 생산 효율성과 품질 향상을 동시에 실현합니다. 사용자 친화적 인터페이스와 안정적인 유지보수 시스템을 갖추어 대량생산 환경에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
케이씨인더스트리얼은 첨단 제조공정과 엄격한 품질관리를 바탕으로 반도체, 디스플레이 등 하이테크 산업에 필수적인 초고순도 특수가스를 안정적으로 생산·공급합니다. 헬륨, 질소 등 다양한 가스를 국내외 고객에게 맞춤형으로 제공하며, 지속적인 연구개발을 통해 업계 최고 수준의 순도와 안전성을 자랑합니다.
RF Matcher는 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 플라즈마 시스템에서 챔버(Chamber)와 RF 파워 소스(RF Power Source) 간 임피던스를 실시간으로 정합하여, 최대 전력을 안정적으로 전달하는 핵심 장치입니다. 이 장비는 공정 효율성과 품질을 극대화하며, 다양한 반도체·디스플레이 라인에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
아바코의 OLED 진공증착시스템은 유기발광다이오드(OLED) 제조 공정에서 핵심적인 역할을 하는 첨단 장비입니다. 이 시스템은 마스크와 기판을 보호하며, 정밀한 기판 위치 조절과 온·습도, 진공상태를 유지하여 이물질 접촉을 최소화하고 유기물 증착의 정확도를 극대화합니다. 아바코는 국내에서 해당 장비를 유일하게 양산할 수 있는 기술력을 보유하고 있으며, 글로벌 디스플레이 시장에서 인정받고 있습니다.
반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 고순도 화학약품을 생산 장비에 안정적으로 공급하는 첨단 중앙약품공급시스템입니다. 클린룸 환경에서의 안전성과 효율성을 극대화하며, 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체·디스플레이 기업에 공급되고 있습니다. 에스티아이 매출의 약 90%를 차지하는 핵심 장비로, 대규모 팹(Fab) 구축 시 필수적으로 도입되는 범용 유틸리티 설비입니다.
CM 시리즈는 산업용 생산라인에서 발생하는 정전기와 1㎛ 이하의 미세먼지까지 효과적으로 제거하는 첨단 클리닝 장비입니다. 특수 고분자 소재와 Ionizer 기술을 통합하여 제품 표면의 이물질 및 정전기를 동시에 제거, 불량률을 최소화하고 생산 수율을 극대화합니다. 반도체, 디스플레이, 정밀전자 등 고청정 환경이 필수적인 산업에 최적화된 솔루션으로, 고객사의 품질 신뢰성 향상과 공정 효율 증대에 기여합니다.