원익아이피에스의 CVD 장비는 반도체 웨이퍼 표면에 고품질의 박막을 형성하는 핵심 장비로, 메모리 및 비메모리 반도체, 디스플레이 제조 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 고온·저온 공정 모두에 적용 가능하며, 대면적 웨이퍼의 균일한 박막 형성과 생산성 향상에 강점을 보유하고 있습니다. 국내 최초로 양산용 Metal ALD/CVD 200/300mm 장비를 개발한 경험을 바탕으로, 글로벌 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
원익아이피에스의 Dry Etching System은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 미세 패턴을 정밀하게 구현하는 고성능 식각 장비입니다. 고유 안테나 기반의 설계로 우수한 식각률과 균일성을 제공하며, LCD, AMOLED, Oxide TFT 등 다양한 애플리케이션에 적용 가능합니다. 최신 공정의 미세화와 고집적화 요구에 대응하여, 생산 효율성과 품질을 동시에 만족시키는 솔루션을 제공합니다.
초정밀 레이저 기술을 기반으로 Flexible OLED 디스플레이의 POL(편광) 필름 및 유연 기판을 고속·고정밀로 절단하는 장비입니다. Motion On The Fly 등 첨단 제어 시스템을 적용해 미세한 패턴 가공과 생산 효율을 극대화하며, 다양한 디스플레이 제조 라인에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
세계 시장 점유율 1위를 자랑하는 DMS의 HDC(고집적 세정 장비)는 LCD 및 OLED 패널 제조 공정에서 기판 표면의 미세 오염물질을 완벽하게 제거하는 첨단 습식 세정 솔루션입니다. 독자적인 기술력으로 높은 생산성과 품질 안정성을 실현하며, 글로벌 디스플레이 제조사에 독점 공급되는 세계일류상품입니다.
차세대 대형 OLED 패널 생산을 위한 고정밀, 고효율 증착장비로, 인라인 물류 시스템과 Linear Source 상향 증착방식을 적용하여 대면적 패널의 대량 생산에 최적화되어 있습니다. 세계 유수 디스플레이 기업에 공급되며, 고부가가치 IT·TV용 OLED 시장을 선도하는 핵심 장비입니다.
PSIS는 LCD 패널의 컬러필터와 박막트랜지스터(TFT) 두 기판 사이에 액정이 정량 주입됐는지, 그리고 두 기판 사이의 간격이 균일하게 유지되는지를 고속·고정밀로 검사하는 핵심 장비입니다. 비접촉 방식의 정밀 측정 기술을 적용하여 LCD 제조 공정의 품질과 생산성을 극대화하며, 글로벌 시장에서 인정받는 에스엔유프리시젼의 대표 솔루션입니다.
인베니아의 Dry Etcher는 디스플레이 패널 제조 공정에서 핵심적인 역할을 하는 첨단 건식 식각 장비로, 플라즈마 기술을 적용하여 미세 패턴을 정밀하게 구현합니다. 이 장비는 TFT-LCD 및 OLED 패널 생산에 최적화되어 있으며, 고효율·고정밀 공정 구현을 통해 생산성 향상과 원가 절감을 동시에 실현합니다. 국내 최초로 국산화에 성공한 Dry Etcher는 글로벌 디스플레이 제조사에 공급되며, 기술력과 신뢰성을 인정받고 있습니다.
TOPTEC의 디스플레이 및 반도체 생산설비는 OLED, LCD, 반도체 공정에 특화된 고성능 자동화 장비입니다. 정밀 이송, 조립, 검사, 라미네이팅 등 다양한 공정에 적용되며, 대형 패널 및 첨단 반도체 생산에 필수적인 고속·고정밀 솔루션을 제공합니다. 글로벌 IT·전자산업의 품질 기준을 충족하는 신뢰성 높은 장비로 인정받고 있습니다.
FPD 배기홀 가공장치는 LCD, OLED 등 평판디스플레이 제조공정에서 필수적인 고정밀 가공 설비로, 풍산시스템의 독자적 기술력과 특허를 바탕으로 생산됩니다. 자동화 및 내구성, 정밀도를 극대화하여 대형 디스플레이 패널의 생산 효율과 품질을 높이며, 글로벌 디스플레이 제조사의 까다로운 요구를 충족합니다.
