고진공 고온 챔버는 OLED 및 반도체 공정에 특화된 장비로, 극한의 진공과 고온 환경에서도 안정적인 공정 제어가 가능합니다. 균일한 온도분포와 고속 온도 제어, 진공 물류시스템 등 첨단 기술이 적용되어 고품질의 박막 증착 및 세정 공정에 최적화되어 있습니다. 다양한 반도체 및 디스플레이 제조 라인에 적용할 수 있습니다.
Park NX-Hivac은 반도체 및 소재 결함 분석을 위한 고진공 환경의 첨단 원자현미경(AFM)입니다. 초고해상도 이미징과 정밀한 표면 분석이 가능하며, 나노미터 단위의 미세 결함까지 검출할 수 있어 반도체 공정, 재료과학, 나노기술 연구에 최적화된 솔루션을 제공합니다. 자동화 기능과 사용자 친화적 인터페이스로 연구 효율성과 데이터 신뢰성을 극대화합니다.
반도체 제조 공정에 최적화된 아이산의 VLF*M-***KF Series 고진공 게이트밸브는 우수한 내식성과 고온 환경 대응력을 갖추고 있습니다. 최소 15,000개 이상이 국내외 반도체 생산라인에 납품되었으며, 완벽한 기밀성과 청정도를 실현하여 파티클 유입 및 누설을 효과적으로 방지합니다. 안전장치와 개폐 상태 시각 확인 기능 등 첨단 설계로 장비 신뢰성을 극대화하며, 기존 제품 대비 수명 연장과 비용 효율성까지 제공합니다.
HiPace 터보 펌프는 반도체, 디스플레이, 연구소 등 첨단 산업 현장에서 요구되는 고진공 환경을 신속하고 안정적으로 구현하는 첨단 진공 펌프입니다. 소형부터 대형까지 다양한 용량과 사양을 제공하며, 높은 펌핑 속도와 신뢰성, 저진동, 저소음 설계로 생산 효율성과 장비 수명을 극대화합니다. 자동화 시스템과의 연동이 용이해 스마트 팩토리 환경에도 최적화되어 있습니다.
코리아벨로우즈가 제조하는 진공-앵글 밸브(공압-벨로우즈)-복동 제품은 고진공 환경에서 신뢰성 높은 개폐 성능을 제공하는 핵심 부품입니다. NW16~NW50 규격으로 다양한 산업 현장에 적용 가능하며, 내구성과 기밀성이 뛰어나 반도체, 디스플레이, 연구소 등에서 진공 라인의 안정적 제어를 실현합니다. 커스텀 제작이 가능해 고객의 다양한 요구에 맞춘 솔루션을 제공합니다.
고진공 환경에서 사용되는 앵글밸브는 기계적 강도와 내식성이 뛰어나며, 다양한 배관 시스템에서 유체 제어를 위한 최적의 성능을 제공합니다. 다산이엔지는 첨단 용접 및 가공 기술로 제작된 앵글밸브를 공급하여 반도체·디스플레이 등 첨단 산업 분야에서 높은 신뢰도를 확보하고 있습니다.
