Y2O3  제품/서비스 검색 결과 : 2건

Y2O3 Parts는 반도체 장비 내에서 플라즈마 내구성이 요구되는 부위에 적용되는 고순도 이트륨옥사이드 세라믹 부품입니다. 뛰어난 내플라즈마성과 내식성으로 장비의 수명을 연장하고, 공정 중 오염을 최소화하여 고품질 반도체 생산에 기여합니다. 첨단 반도체 제조 환경에서 신뢰받는 소재 솔루션입니다.

반도체·디스플레이 식각장비 내 플라즈마 코팅용으로 개발된 초미세(15㎛ 미만) 고유동성 산화이트륨(Y₂O₃) 분말은 뛰어난 내플라즈마 특성과 고밀도 피막 형성 능력을 자랑합니다. 기존 수입에 의존하던 소재를 국산화하여 국내외 공급망을 구축했으며, 높은 순도와 균일한 입자 크기로 식각장비 부품 보호 및 수명 연장에 탁월한 효과를 제공합니다.