PFC분해 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	PLASMA SCRUBBER YPS-04U	영진아이엔디(주)	반도체장비플라즈마스크러버유해가스처리친환경설비PFC분해	YPS-04U는 반도체 제조공정에서 발생하는 유해 가스를 친환경적으로 처리하는 플라즈마 스크러버 시스템입니다. 용수(NPW) 사용량을 최소화하여 유지비용이 낮고, 고효율 플라즈마 분해 기술로 PFC계 등 다양한 공정가스를 효과적으로 제거합니다. 컴팩트한 설계와 모듈형 구조로 기존 설비에 쉽게 적용할 수 있으며, 글로벌 파운드리 기업에도 공급되는 영진아이엔디의 대표 친환경 장비입니다.

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