OLED공정부품 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	ESC(정전척) – 단극/양극유도형	(주)코리아스타텍	정전척LCD제조장비OLED공정부품반도체장비부품국산화기술	LCD 및 OLED 제조공정의 핵심 부품인 ESC(정전척)는 드라이 에칭 공정에서 기판을 하부 전극에 고정시키고 온도를 제어하는 첨단 장치로, 코리아스타텍은 일본이 독점하던 이 기술의 국산화에 성공했으며 단극유도(monopolar)와 세계 최초 대면적 양극유도(bipolar) ESC까지 자체 개발하여 디스플레이 산업 경쟁력을 높이고 있습니다.

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