BlueJay™는 반도체 미세공정에 최적화된 싱글 타입 저압 화학기상증착(LPCVD) 장비로, 웨이퍼 표면에 균일하고 고품질의 절연막 및 박막을 형성합니다. 세계 유수 반도체 소자업체에서 핵심 공정장비로 채택되고 있으며, DRAM 등 첨단 메모리 제조 라인에서 높은 신뢰성과 생산성을 인정받고 있습니다. 독보적인 미세막질 제어 기술과 에너지 효율성을 바탕으로 차세대 반도체 공정 혁신을 주도합니다.
여러 장의 웨이퍼를 동시에 가공할 수 있는 수직 구조의 퍼니스 장비로서 확산(Diffusion), 저압 화학기상증착(LPCVD), 원자층증착(ALD) 등 다양한 반도체 공정에 대응합니다. 뛰어난 온도 제어와 독창적인 챔버 설계로 미세구조 및 고집적 회로 생산에 최적화되어 있습니다.
반도체 Diffusion 및 LPCVD 공정에 사용되는 Quartz(쿼츠) 제품을 Class 1 환경에서 세정하는 서비스로, ICP-MS 성분 분석기와 DI 비저항 관리 등 첨단 설비를 활용해 미세 오염까지 제거합니다. 온·습도 및 폐액 관리 등 엄격한 품질 관리로 반도체 생산라인의 안정성과 수율 향상에 기여합니다.
SD CVD System은 반도체 제조 공정에서 핵심적인 저압화학증착(LPCVD) 기술을 적용한 장비로, 초미세 DRAM, 3D NAND, Logic 등 다양한 반도체 공정에서 균일하고 우수한 막질을 구현합니다. 고객 맞춤형 설계와 고효율, 고신뢰성의 공정 성능을 제공하며, 대량 생산 환경에서도 생산성을 극대화할 수 있습니다. 주성엔지니어링의 독보적 기술력으로 글로벌 반도체 제조사의 신뢰를 받고 있습니다.
반도체 제조 공정에서 사용되는 고순도 석영유리(Quartz) 기반의 프로세스 튜브는 Diffusion/LPCVD Furnace 등 열처리 장비에 필수적으로 적용됩니다. KKQ는 4인치부터 12인치까지 다양한 규격을 양산하며, 뛰어난 내열성·내화학성을 바탕으로 국내외 반도체 업계에서 품질을 인정받고 있습니다. 정밀 가공 및 엄격한 품질관리를 통해 미세 공정에도 적합한 신뢰성을 제공합니다.
