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 HBM공정지원  제품/서비스 검색 결과 : 1

아카이브

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설명
Dry Cleaning System (드라이 클리닝 시스템)피에스케이(주)
반도체클리닝장비드라이클리닝식각후처리HBM공정지원수율향상
PSK Dry Cleaning System은 식각(Etching) 이후 웨이퍼 표면의 미세 불순물을 비접촉·플라즈마 방식으로 신속하게 제거하여 고품질 반도체 생산을 지원합니다. 최신 HBM 및 3D 패키징 공정에도 적용 가능하며 수율 향상과 오염 최소화를 동시에 실현하는 차별화된 솔루션입니다.
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