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 Fab맞춤솔루션  제품/서비스 검색 결과 : 1건

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PLASMA SCRUBBER HPS 시리즈 (HPS–04M/HPS–04R/HPS–04S)영진아이엔디(주)
반도체공장설비PFC저감장치표준스크러버시스템Fab맞춤솔루션산업안전설비
HPS 시리즈는 반도체 공정에서 발생하는 다양한 PFC계 가스를 고효율 플라즈마 방식으로 분해·제거하는 표준 스크러버 라인업입니다. 누출 방지 설계와 소형 모델(HPS–04S)까지 갖추어 Fab별 맞춤 적용이 가능하며 안전성과 신뢰성을 동시에 제공합니다.
10 개 / 쪽