FAB자동화솔루션 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	Ultra Track (코터·디벨로퍼 트랙 장비)	(주)에이씨엠리서치코리아	포토레지스트코팅기트랙시스템장비리소그래피공정지원장치WLP패키징공정설비FAB자동화솔루션	Ultra Track은 포토레지스트(PR) 코팅 및 현상 공정을 위한 트랙(Track) 시스템으로서 노광 후 베이크와 현상 등 핵심 단계에서 우수한 유량 및 온도 제어 능력을 제공합니다. 자동 세척 기능과 독립적 캐비티 제어가 가능해 미세 패턴 형성의 균일성과 수율 향상에 기여하며 IC 리소그래피 지원에 최적화되어 있습니다.

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