반도체 웨이퍼 이송 장비(EFEM)에 적용되는 고성능 제습 장치로, 클린룸 내 습도 제어를 통해 장비 오염을 최소화하고 생산 공정의 신뢰성과 효율성을 극대화합니다. 국내외 주요 반도체 제조사의 라인에 다수 설치되어 있으며, 써치앤델브의 독자적 기술력과 특허를 기반으로 높은 품질과 안정성을 자랑합니다.
EFEM(Equipment Front End Module) 및 진공 이송 모듈은 반도체·디스플레이 공정에서 핵심 소재인 실리콘 웨이퍼와 FPD 기판을 오염 없이 정밀하게 공급·회수하는 첨단 자동화 솔루션입니다. 고객 맞춤형 스택 로드락과 히터·냉각 유닛 등 다양한 옵션을 제공하며, 고속 처리와 청정 환경 유지가 강점입니다. 라온테크의 검증된 기술력으로 글로벌 디스플레이 및 반도체 제조사의 신뢰를 받고 있습니다.
ATM Robot은 EFEM 및 Transfer Chamber 내에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 이동시키는 다관절(5축) 산업용 로봇입니다. 싸이맥스가 국내 최초로 국산화한 이 로봇은 미세먼지 발생 최소화를 위한 무윤활 구조와 고내구성 설계를 적용해 극한 환경에서도 안정적으로 작동하며 생산 라인의 완전 자동화를 지원합니다.
반도체 전공정 자동화를 위한 EFEM ATM(Vacuum Transfer Module)/VTM(Robot Transfer Module)은 웨이퍼의 정밀 이송 및 처리 효율을 극대화하는 핵심 부품입니다. 고강성 프레임 구조와 첨단 제어박스 일괄 제작 역량을 바탕으로 Lam Research 등 글로벌 반도체 장비사에 공급되고 있으며, 고객 맞춤 사양 대응 및 리퍼비시 서비스까지 제공하여 생산성과 신뢰도를 높였습니다.
EFEM은 반도체 생산라인에서 FOUP 내 웨이퍼를 자동으로 인식·개방·적재하며 각종 로봇과 연동해 전공정 장비와 완벽히 호환되는 전면 자동화 모듈입니다. 싸이맥스의 EFEM은 고속 처리능력과 높은 청정도를 자랑하며 다양한 고객 맞춤형 옵션 제공으로 글로벌 IDM 업체들의 신뢰를 받고 있습니다.
EFEM은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 자동 로딩·언로딩 및 이송을 담당하는 핵심 모듈입니다. 클린룸 환경에 적합하게 설계되어 오염 방지와 생산 효율성을 극대화하며 다양한 반도체 장비와 호환되는 유연성을 제공합니다. 고속·고정밀 구동 시스템으로 최신 반도체 라인에 필수적인 솔루션입니다.
EFEM은 반도체 제조용 300mm 웨이퍼 이송장치로서, 클린룸 환경에서 웨이퍼를 안전하고 신속하게 각 공정 설비 간 이동시키는 자동화 솔루션입니다. 로봇 기반의 이송 시스템으로 오염 최소화와 생산성 향상에 최적화되어 있으며 삼성전자 등 국내외 주요 반도체 업체에 공급되고 있습니다.
싸이맥스의 Transfer Chamber는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 진공 상태로 안전하고 정밀하게 이송하는 자동화 시스템입니다. EFEM, LPM(FOUP Opener), ATM Robot 및 Vacuum Robot 등 첨단 모듈을 통합하여, 고청정·고속·고신뢰성의 웨이퍼 이송을 실현합니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되며, 생산 효율성과 수율 향상에 핵심적인 역할을 담당합니다.
JFS는 세계 최초의 기류 제어 기반 EFEM(Equipment Front End Module) 부착형 습도저감 모듈로서 추가 유틸리티 없이 간편하게 설치할 수 있습니다. FOUP 내부습도를 1% 이하까지 제어해 미세공정 환경에서 발생할 수 있는 이물성 및 Defect를 차단하여 생산수율과 품질 안정성을 극대화합니다.
100% 실시간 전수검사가 가능한 첨단 반도체 웨이퍼 결함 검사 시스템입니다. 기존 반도체 검사 장비의 EFEM 내부에 직접 장착할 수 있도록 설계되어, 공간 효율성과 안정성을 극대화하였으며, 슬림한 디자인과 견고한 구조로 고품질 검사를 제공합니다. 차세대 반도체 제조공정에서 품질관리와 생산성 향상에 기여하는 핵심 솔루션입니다.
