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DRAM제조
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설명
BlueJay™ (Single Thermal LPCVD System)
(주)유진테크
반도체장비
LPCVD
박막증착
웨이퍼공정
DRAM제조
BlueJay™는 반도체 미세공정에 최적화된 싱글 타입 저압 화학기상증착(LPCVD) 장비로, 웨이퍼 표면에 균일하고 고품질의 절연막 및 박막을 형성합니다. 세계 유수 반도체 소자업체에서 핵심 공정장비로 채택되고 있으며, DRAM 등 첨단 메모리 제조 라인에서 높은 신뢰성과 생산성을 인정받고 있습니다. 독보적인 미세막질 제어 기술과 에너지 효율성을 바탕으로 차세대 반도체 공정 혁신을 주도합니다.
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