CVD세정  제품/서비스 검색 결과 : 1건

삼불화질소(NF₃)는 반도체, 디스플레이, 태양광, LED 제조 공정의 CVD(화학기상증착) 챔버 세정에 필수적으로 사용되는 고순도 특수가스입니다. 에프알디는 4N(99.99% 이상) 이상의 고순도 NF₃를 생산하며, 첨단 분석 설비와 엄격한 품질관리 체계를 통해 글로벌 반도체 및 디스플레이 제조사의 까다로운 품질 요구를 충족합니다. NF₃는 높은 세정 효율과 환경 친화적 특성으로 차세대 반도체 공정에서 각광받고 있습니다.