히터블록  제품/서비스 검색 결과 : 4건

CVD 등 첨단 반도체 공정에 필수적인 히터블록은 정밀한 열 분포와 탁월한 내구성을 갖춘 고부가가치 부품입니다. 보부하이테크만의 소재 조성 제어 및 본딩 기술로 제작되어 삼성전자·SK하이닉스 등 국내외 유수 고객사에 공급되고 있습니다.

메카로의 Pedestal Heater Block은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 흡착 및 정밀한 온도 제어를 실현하는 핵심 부품입니다. 고온에서도 균일한 온도 분포와 우수한 내구성을 자랑하며, 다양한 반도체 공정에 맞춤형 설계가 가능합니다. 첨단 금속 및 세라믹 소재를 적용해 열전달 효율과 신뢰성을 극대화하였으며, 글로벌 반도체 제조사에 공급되어 품질과 기술력을 인정받고 있습니다.

반도체 제조 장비의 온도 제어를 담당하는 히터 블록은 고정밀 온도 유지와 빠른 열전달을 실현합니다. 맥스플러스이엔지(주)의 히터 블록은 고효율 발열체와 내구성 소재를 적용하여, 반도체 공정의 생산성과 품질 향상에 기여합니다.

히터 및 진공척은 웨이퍼 가열·냉각 및 안정적인 흡착을 동시에 구현하여 박막 증착 등 다양한 세미컨덕터 프로세스에서 필수적인 역할을 수행합니다. KSTE만의 설계 노하우와 엄격한 품질관리로 높은 열효율과 긴 수명을 보장하며 고객 맞춤 솔루션 제공이 가능합니다.