10년 이상의 노하우를 바탕으로 개발된 Heater Assembly Optimization Solution은 시뮬레이션 기반의 최적화 설계를 통해 반도체 및 디스플레이 공정에 필요한 고성능·고부가가치 히터 모듈을 제공합니다. 정밀 온도 제어와 에너지 효율성을 극대화하여 생산성과 품질을 동시에 확보할 수 있습니다.
반도체 제조 공정에 최적화된 고성능 Metal HEATER로, 150mm(6″), 200mm(8″), 300mm(12″) 웨이퍼 대응 다양한 규격과 STD HEATER, A101 HEATER, B101 HEATER 등 맞춤형 모델을 제공합니다. 내구성과 정밀 온도 제어가 강점이며, 수리 및 개선 서비스까지 지원하여 반도체 생산라인의 효율성을 극대화합니다.