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확산공정
제품/서비스 검색 결과 :
1
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제품/서비스명
기업명
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설명
수직 구조 배치 타입 퍼니스
(주)원익테라세미콘
반도체웨이퍼
확산공정
LPCVD
ALD장비
미세공정
여러 장의 웨이퍼를 동시에 가공할 수 있는 수직 구조의 퍼니스 장비로서 확산(Diffusion), 저압 화학기상증착(LPCVD), 원자층증착(ALD) 등 다양한 반도체 공정에 대응합니다. 뛰어난 온도 제어와 독창적인 챔버 설계로 미세구조 및 고집적 회로 생산에 최적화되어 있습니다.
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