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항온수시스템
제품/서비스 검색 결과 :
1
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제품/서비스명
기업명
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설명
MELCON CHR Series (항온수 순환 시스템)
멜콘(주)
항온수시스템
웨이퍼냉각
반도체공조설비
열관리솔루션
클린룸환경
MELCON CHR Series는 액상 냉각매체(항온수)를 이용해 웨이퍼 처리 장치 내 모터 및 유량부품 등의 정확한 온도를 유지하는 시스템입니다. 고도의 정밀성과 신뢰성을 바탕으로 반도체 제조공정의 Coater & Developer 설비 등에 적용되어 공정 품질과 생산 효율을 극대화합니다.
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