나노윈의 Nano 구조 Plasma 코팅은 반도체 장비 부품 표면에 균일하고 내구성 높은 나노 두께의 플라즈마 코팅막을 형성하여, 부품의 내식성과 내열성을 극대화합니다. 이 기술은 미세 오염 방지와 공정 효율 향상에 탁월하며, 고객사의 다양한 공정 조건에 맞춘 맞춤형 코팅 솔루션을 제공합니다. 글로벌 반도체 제조사들이 신뢰하는 고부가가치 표면처리 기술입니다.
반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 프리즈마용사코팅 부품은 동양엠더블유의 핵심 기술이 집약된 제품입니다. 고온·고내식 환경에서 뛰어난 내구성과 성능을 제공하며, 자체 분말소재(Y₂O₃ 등)를 활용해 맞춤형 코팅 솔루션을 제공합니다. 대기업과의 협업을 통해 품질 및 신뢰성을 인정받고 있습니다.
Plasma Spray 공법은 이온화된 가스를 이용해 15,000℃ 이상의 초고온 환경을 구현, 세라믹 및 초경 등 용융점이 매우 높은 소재의 표면에 균일하고 치밀한 코팅을 제공합니다. 이 기술은 내마모성, 내열성, 내식성이 요구되는 선박, 해양구조물, 발전설비, 자동차 부품 등 다양한 산업 분야에서 금속 및 비금속 표면의 내구성과 성능을 극대화하는 데 활용됩니다. 우주용사공업(주)은 벨로루스 국립과학연구소와의 기술 협력을 통해 세계 최고 수준의 플라즈마 코팅 품질을 실현하고 있습니다.
철원플라즈마산업기술연구원의 반도체 및 디스플레이 재료는 플라즈마 응용 표면처리와 정밀 가공 기술을 접목하여 고순도·고내구성 소재를 공급합니다. 차세대 생산형 코팅과 표면처리 시스템을 통해 미세 패턴 구현이 가능하며 OLED·LCD 등 첨단 디스플레이 제조 공정에 최적화된 품질과 신뢰성을 보장합니다.
플라즈마 기반 PECVD, Ion Plating, FCVA 등 첨단 공정을 활용하여 금형, 기계부품, 정밀기기 등에 적용되는 고경도·내마모·저마찰 특성의 DLC 코팅 장비입니다. 자체 개발한 박막 분석 및 3차원 코팅 기술을 접목해 다양한 산업 현장에 맞춤형 표면처리 솔루션을 제공합니다. 국내외 연구소, 대학, 제조기업에 폭넓게 공급되며, 고기능성·내구성·에너지 절감 효과로 글로벌 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
반도체·디스플레이 식각장비 내 플라즈마 코팅용으로 개발된 초미세(15㎛ 미만) 고유동성 산화이트륨(Y₂O₃) 분말은 뛰어난 내플라즈마 특성과 고밀도 피막 형성 능력을 자랑합니다. 기존 수입에 의존하던 소재를 국산화하여 국내외 공급망을 구축했으며, 높은 순도와 균일한 입자 크기로 식각장비 부품 보호 및 수명 연장에 탁월한 효과를 제공합니다.
