플라즈마증착  제품/서비스 검색 결과 : 1건

SDP Metal System은 세계 최초 신개념 플라즈마 기술이 적용된 반도체 금속막 증착 장비로, ALD(원자층 증착) 공정에서 고유전체막, 절연체막, 전도체막 등 다양한 박막을 저온에서 고품질로 형성할 수 있습니다. 특히, 전극의 저항값을 50% 이상 낮출 수 있는 저저항 기능을 갖추고 있어 차세대 반도체 소자의 미세화와 고성능화에 최적화된 혁신적 장비입니다. 플라즈마와 고온에 의한 소자 특성 손상 문제를 극복하며, 생산성과 신뢰성을 동시에 제공합니다.