플라즈마제어  제품/서비스 검색 결과 : 3건

세계적 핵융합 실험로 ITER 프로젝트에 공급되는 다원시스의 Stage-2 초전도코일 전원공급장치는 인공 태양 구현을 위한 고출력·고신뢰성 에너지 공급 장비입니다. 고속 제어와 안정적인 대용량 전류 제공이 가능하며, 마스터 제어시스템(MCS)과 연동되어 정밀한 플라즈마 운용을 지원합니다. 글로벌 핵융합 연구 및 상업화 시장에서 기술력을 인정받은 첨단 파워 일렉트로닉스 솔루션입니다.

플라즈마 장치의 효율적인 에너지 전달을 위해 설계된 임피던스 매칭 장치로서, RF Generator와 챔버 간의 임피던스를 자동 조절하여 최적화된 플라즈마 상태를 유지합니다. 고속 응답성과 정밀한 제어 기능으로 생산성 향상과 불량률 감소에 기여합니다.

반도체 및 디스플레이 제조공정에서 플라즈마 균일도를 극대화하는 핵심 부품입니다. 실시간 임피던스 조절 기능으로 에너지 손실을 최소화하고 장비 효율성을 극대화하여 생산라인의 안정성과 수율 향상에 기여합니다.