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플라즈마장치
제품/서비스 검색 결과 :
1
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설명
플라즈마 & 반응성 가스 솔루션
엠케이에스코리아(유)
플라즈마장치
박막증착설비
식각솔루션
RF파워소스
첨단소재가공
MKS의 플라즈마 및 반응성 가스 솔루션은 박막 증착(CVD/PVD), 식각 등 첨단 소재 처리 공정을 위한 맞춤형 시스템입니다. RF 파워 공급기와 고효율 플라즈마 소스를 결합하여 균일하고 재현성 높은 플라즈마 환경을 제공하며 복잡한 미세 패턴 형성과 신소재 개발에 필수적인 장비로 인정받고 있습니다.
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