Plasma Treatment System은 디스플레이 제조 공정에서 표면 개질 및 세정, 박막 증착 전처리 등에 사용되는 첨단 플라즈마 장비입니다. 인베니아의 플라즈마 시스템은 균일한 플라즈마 분포와 정밀한 공정 제어를 통해 패널의 품질과 생산 효율을 높이며, 다양한 디스플레이 기술에 적용 가능합니다. 고효율·친환경 공정 구현으로 글로벌 시장에서 경쟁력을 확보하고 있습니다.
세계 시장점유율 1위(약 42%)를 자랑하는 PSK의 PR Strip은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면의 감광액(PR)을 플라즈마 기반 드라이 방식으로 완벽하게 제거합니다. 삼성전자 등 글로벌 고객사에 공급되며, 미세화·고집적화되는 첨단 반도체 공정에서도 탁월한 수율과 생산성을 실현합니다.
MAK의 대기압 플라즈마 장비는 반도체, 디스플레이, 각종 필름 제조 공정에 적용되어 표면 세정, 활성화, 멸균 등 다양한 용도로 사용됩니다. 맞춤형 플라즈마 소스 설계와 정밀 제어 기술을 바탕으로, 고효율·고신뢰성의 공정 환경을 제공합니다. 친환경적이며, 생산성 향상과 품질 개선에 기여하는 첨단 장비입니다.