플라즈마스크러버  제품/서비스 검색 결과 : 2건

최첨단 플라즈마 화염 기술을 적용한 플라즈마 가스 스크러버는 반도체 전공정에서 발생하는 온실가스(PFCs, 산성가스 등)와 유해가스를 3,000℃ 이상의 고온 플라즈마로 대용량·고효율 처리합니다. 최신 저전력 설계와 대용량 처리 기술을 접목해, 미세먼지 및 온실가스 저감에 탁월한 성능을 발휘하며, 반도체·디스플레이·태양광 산업 현장의 대기환경 개선에 최적화된 솔루션을 제공합니다.

YPS-04U는 반도체 제조공정에서 발생하는 유해 가스를 친환경적으로 처리하는 플라즈마 스크러버 시스템입니다. 용수(NPW) 사용량을 최소화하여 유지비용이 낮고, 고효율 플라즈마 분해 기술로 PFC계 등 다양한 공정가스를 효과적으로 제거합니다. 컴팩트한 설계와 모듈형 구조로 기존 설비에 쉽게 적용할 수 있으며, 글로벌 파운드리 기업에도 공급되는 영진아이엔디의 대표 친환경 장비입니다.