플라즈마소스 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	RF ICP 소스 (RF 타입 이온·플라즈마 생성장치)	(주)밸류엔지니어링	반도체장비플라즈마소스이온주입기RF기술공정혁신	약 40년간 미국 기업들이 주도하던 DC타입 대신, 자체 개발한 RF타입의 ICP 소스를 적용하여 저전력·고효율을 실현한 이온주입 장비용 핵심 부품입니다. 나노 단위 파티클 제어와 플라즈마 코팅 등 첨단 공정에 최적화되어 반도체 수율 극대화와 공정 혁신을 지원합니다.

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