플라즈마공정보호소재 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	이트리아 분말·코팅재료	케이브이머티리얼즈(주)	이트리아분말코팅재료반도체공정자재내식성코팅제플라즈마공정보호소재세라믹원료	Yttria(Y₂O₃)는 반도체 및 디스플레이 Dry Etching 공정에서 파츠류를 보호하기 위한 내식성·내플라즈마성 코팅 재료입니다. 분말 형태(25~35㎛ sintered granule)와 코팅 형태 모두 제공되며 우수한 내구성과 안정성으로 장비 수명을 연장하고 공정 효율을 극대화합니다.

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