플라즈마가공설비 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	Electrostatic Chuck (ESC)	(주)세진프리시젼	ESC척웨이퍼고정장치플라즈마가공설비반도체제조부품미세가공기술	웨이퍼를 안정적으로 고정해주는 전기집게 방식의 척으로서 플라즈마 에칭 등 미세가공 공정에서 높은 평탄성과 신뢰도를 제공합니다. 세진프리시젼 ESC는 우수한 절연 특성과 빠른 응답성으로 생산성 향상과 불량률 감소를 실현합니다.

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