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 표면분석기술  제품/서비스 검색 결과 : 1건

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MEIS-K120 (중에너지 이온산란 분광기)케이맥(주)
반도체분석장비표면분석기술나노소재연구웨이퍼검사R&D솔루션
MEIS-K120은 반도체 웨이퍼 및 첨단 소재 표면의 원자층 구조와 조성·두께 분포를 나노미터 이하 해상도로 분석하는 중에너지 이온산란 분광기(Medium Energy Ion Scattering Spectrometer)입니다. 비행시간(Time of Flight) 기반 분석법으로 원자 한 층 수준까지 물성을 정밀하게 파악할 수 있어 차세대 소자 개발 및 품질보증 연구 현장에서 활용도가 높습니다.
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