Nano Scan Inspection System은 백색광 간섭 측정 원리를 활용한 비접촉식 3차원 표면 형상 단차 측정 장비로, 서브나노급 분해능과 고속 측정 성능을 자랑합니다. 반도체, PCB, 디스플레이 등 미세 패턴의 단차, 선폭, 홀 깊이 및 사이즈를 정밀하게 측정하여 첨단 제조공정의 품질을 보장합니다.
원자힘현미경(AFM) 장비에 사용되는 초정밀 프로브로, 나노미터 단위의 표면 분석 및 정밀 측정에 적합합니다. 마이크로투나노의 AFM 프로브는 우수한 내구성과 정밀도를 바탕으로 반도체, 소재, 바이오 등 다양한 산업 분야의 연구개발 및 품질관리 공정에 활용됩니다. MEMS 기반의 첨단 가공 기술로 제작되어 신뢰성 높은 측정 결과를 제공합니다.